采用环保制冷剂
，
，节能环保；

超高精度静压气浮轴承
，
，，，无润滑油；

超低振动，，轴承零功耗，
，，
，无噪运行；

变频驱动、、、、自动调节、、运行安全可靠；

第三代CCS TOUCH及I-VISN系统
，，
，
，智能控制，
，应用灵活。
。。
。